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除了生长参数，电力底售电服外界激励，如温度、电场均会影响HfO2多晶薄膜相结构及铁电性。HfO2晶体的热力学稳定相均为中心对称的晶体结构，年保目前经实验确定的铁电相均是亚稳相，包括非中心对称的正交相Pca21以及菱形相。

氧化物钙钛矿（perovskite）是最常见的铁电材料，作方但是，作方这类材料很难实现与互补金属氧化物半导体（CMOS）电路的高度融合，是传统铁电材料用于存储器件的工业瓶颈之一。当超过某个浓度，川市场P42/nmc相（反铁电相）占主导，见图2（b）。由于HfO2的Pca21相与其他正交相结构十分接近，电力底售电服见表1及图1（a-c），电力底售电服不同相之间仅O原子占位有差异，这使得Pca21相的实验确认需要直接观察到O原子的位置，给实验带来极大困难。

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